WATLOW
ワトロー ワールドワイド  |   サイトマップ  |   サイト内検索: 

半導体製造分野

熱プロセス制御は、ウェハ処理工程、半導体素子のパッケージングと試験に必要不可欠です。高度な温度ソリューションで世界をリードするワトローは、次世代プロセス装置向け新製品の開発を行っています。新たに300mmウェハ用として、銅配線、絶縁膜等のサブミクロン技術や素材が開発されるにつれ、成膜、リソグラフィー、エッチング、洗浄に対する温度仕様は、ますます高度になっています。

当社は次の市場分野で、半導体製造プロセスと関連する新しい熱技術と製造能力・サービスを培ってきました。

成膜

リソグラフィー

エッチング

洗浄

試験

パッケージング

ワトローは、半導体産業で活用される、以下のような製品を製造しています。